ସ୍ପଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ କ’ଣ |

ପୂର୍ବ ବାଷ୍ପୀକରଣ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ହେଉଛି ଏକ ନୂତନ ଶାରୀରିକ ବାଷ୍ପ ଆବରଣ ପଦ୍ଧତି, ଅନେକ ଦିଗରେ ଏହାର ସୁବିଧା ଯଥେଷ୍ଟ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ |ଏକ ପରିପକ୍ୱ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଭାବରେ, ଅନେକ କ୍ଷେତ୍ରରେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଇଛି |

　　ଚୁମ୍ବକୀୟ ସ୍ପଟରିଂ ନୀତି:

ସ୍ପଟର୍ଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୋଲ (କ୍ୟାଥୋଡ୍) ଏବଂ ଆନାଡ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଯୋଡା ଯାଇଥାଏ ଏବଂ ଆବଶ୍ୟକ ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ (ସାଧାରଣତ Ar ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍) ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଭରାଯାଇଥାଏ |ସ୍ଥାୟୀ ଚୁମ୍ବକ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ପୃଷ୍ଠରେ 250-350 ଗସ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ କ୍ଷେତ୍ର ଗଠିତ |ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ପ୍ରଭାବରେ, ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ପଜିଟିଭ୍ ଆୟନ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ରେ, ଟାର୍ଗେଟ୍ ଏବଂ କିଛି ନକାରାତ୍ମକ ଚାପ ରହିଛି, ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ପ୍ରଭାବ ଦ୍ the ାରା ପୋଲରୁ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଠାରୁ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ସମ୍ଭାବନା ବ increase ଼ି ଏକ ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରେ | କ୍ୟାଥୋଡ୍, ଲୋରେଣ୍ଟଜ୍ ଫୋର୍ସର କ୍ରିୟାରେ ଆର୍ ଆୟନ, ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକୁ ଉଡ଼ିବା ପାଇଁ ଦ୍ରୁତ ଗତିରେ, ଉଚ୍ଚ ବେଗରେ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ଫୋରଣ କରି, ଟାର୍ଗେଟରେ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁ ଗତିର ରୂପାନ୍ତର ନୀତି ଅନୁସରଣ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଗତିଜ ସହିତ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠରୁ ଉଡ଼ିଯାଏ | ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଡିପୋଜିସନ ଫିଲ୍ମକୁ ଶକ୍ତି |

ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସାଧାରଣତ two ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ: ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପଟର୍ଟିଂ |ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଉପକରଣର ନୀତି ସରଳ, ଏବଂ ଧାତୁ ଛିଞ୍ଚିବା ସମୟରେ ହାର ଦ୍ରୁତ ଅଟେ |କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସ୍ପଟର୍ କରିବା ବ୍ୟତୀତ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟର୍ଙ୍ଗର ବ୍ୟବହାର ଅଧିକ ବ୍ୟାପକ ଅଟେ, ଏବଂ ଅଣ-କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ମଧ୍ୟ ସ୍ପୁଟର୍ କରିଥାଏ, ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଯ ound ଗିକ ସାମଗ୍ରୀର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପୁଟର୍ ପ୍ରସ୍ତୁତି ମଧ୍ୟ କରିଥାଏ |ଯଦି ଆରଏଫ୍ ର ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ increases େ, ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗରେ ପରିଣତ ହୁଏ |ବର୍ତ୍ତମାନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରିଜୋନାନ୍ସ (ECR) ପ୍ରକାର ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପୁଟର୍ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |

　　ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ:

ଧାରା ସିଲାଇସିଡ୍ ସିରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ, ସଲଫାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ, ଟେଲୁରିଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅନ୍ୟ ସେରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, କ୍ରୋମିୟମ୍-ଡୋପଡ୍ ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (CR-SiO), ଇଣ୍ଡିୟମ୍ ଫସଫାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (ଇନ୍ପି), ଲିଡ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (PbAs), ଇଣ୍ଡିଆନ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ | ଲକ୍ଷ୍ୟ (InAs) |