ବର୍ତ୍ତମାନ ଅଧିକରୁ ଅଧିକ ଉପଭୋକ୍ତା ଲକ୍ଷ୍ୟର ପ୍ରକାର ବୁ understand ନ୍ତି ଏବଂଏହାର ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ, କିନ୍ତୁ ଏହାର ଉପବିଭାଗ ବହୁତ ସ୍ପଷ୍ଟ ହୋଇନପାରେ |।ଏବେ ଚାଲନ୍ତୁ |RSM ଇଞ୍ଜିନିୟର | ଆପଣଙ୍କ ସହିତ ଅଂଶୀଦାର କରନ୍ତୁ |କିଛି ଅନୁକରଣ | ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ |.
ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍: ଧାତୁ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ଆଲୋଇ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଆବରଣ ଲକ୍ଷ୍ୟ, ବୋରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, କାର୍ବାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଫ୍ଲୋରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ସିଲେନାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, ସଲଫାଇଡ୍ ସିରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଟେଲୁରିଡ୍ ସେରାମିକ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ୍, ଅନ୍ୟ ସିରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍, କ୍ରୋମିୟମ୍ ଡୋପେଡ୍ ସିଲିକନ୍ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସେରାମିକ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (CR SiO), ଇଣ୍ଡିଆମ୍ ଫସଫାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (INP), ଲିଡ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (pbas), ଇଣ୍ଡିୟମ୍ ଆର୍ସେନାଇଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ (InAs) |
ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସାଧାରଣତ two ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ: ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ୍ |ଡିସି ସ୍ପୁଟର୍ ଉପକରଣର ନୀତି ସରଳ, ଏବଂ ଧାତୁ ଛିଞ୍ଚିବାବେଳେ ଏହାର ହାର ମଧ୍ୟ ଦ୍ରୁତ ଅଟେ |RF sputtering ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଡାଟା ସ୍ପଟର୍ କରିବା ସହିତ, ଏହା ଅଣ-କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଡାଟା ମଧ୍ୟ ସ୍ପଟର୍ କରିପାରେ |ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ପରି ଯ ound ଗିକ ତଥ୍ୟ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ମଧ୍ୟ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପୁଟର୍ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇପାରେ |ଯଦି ଆରଏଫ୍ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବ increases େ, ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗରେ ପରିଣତ ହେବ |ବର୍ତ୍ତମାନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରିଜୋନାନ୍ସ (ECR) ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପୁଟର୍ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମେ -26-2022 |