ଅନେକ ଉପଭୋକ୍ତା ନିଶ୍ଚିତ ଭାବରେ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟର ଉତ୍ପାଦ ବିଷୟରେ ଶୁଣିଥିବେ, କିନ୍ତୁ ସ୍ପୁଟର୍ ଟାର୍ଗେଟର ନୀତି ଅପେକ୍ଷାକୃତ ଅପରିଚିତ ହେବା ଉଚିତ |ବର୍ତ୍ତମାନ, ସମ୍ପାଦକଧନୀ ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ସାମଗ୍ରୀ (RSM) ଚୁମ୍ବକୀୟ ଲକ୍ଷ୍ୟର ଚୁମ୍ବକୀୟ ସ୍ପୁଟରିଂ ନୀତି ଅଂଶୀଦାର କରେ |.
ସ୍ପଟର୍ଡ୍ ଟାର୍ଗେଟ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ (କ୍ୟାଥୋଡ୍) ଏବଂ ଆନାଡ ମଧ୍ୟରେ ଏକ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ଏବଂ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ଯୋଡା ଯାଇଥାଏ, ଆବଶ୍ୟକ ଇର୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ (ସାଧାରଣତ Ar ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍) ଉଚ୍ଚ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ଭରାଯାଇଥାଏ, ସ୍ଥାୟୀ ଚୁମ୍ବକ 250 ~ 350 ଗସ୍ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ | ଲକ୍ଷ୍ୟ ତଥ୍ୟର ପୃଷ୍ଠ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଭୋଲ୍ଟେଜ୍ ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ସହିତ ଅର୍ଥୋଗୋନାଲ୍ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋମ୍ୟାଗ୍ନେଟିକ୍ କ୍ଷେତ୍ର ଗଠିତ |
ବ electric ଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ପ୍ରଭାବରେ, ଆର୍ ଗ୍ୟାସ୍ ସକରାତ୍ମକ ଆୟନ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ରେ ଆୟନାଇଜ୍ ହୁଏ |ଲକ୍ଷ୍ୟରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ନକାରାତ୍ମକ ହାଇ ଭୋଲଟେଜ୍ ଯୋଡା ଯାଇଛି |ଟାର୍ଗେଟ ପୋଲରୁ ନିର୍ଗତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ଉପରେ ଚୁମ୍ବକୀୟ କ୍ଷେତ୍ରର ପ୍ରଭାବ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟ କରୁଥିବା ଗ୍ୟାସର ଆୟନାଇଜେସନ୍ ସମ୍ଭାବନା ବୃଦ୍ଧି ପାଇ କ୍ୟାଥୋଡ୍ ନିକଟରେ ଏକ ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି କରେ |ଲୋରେଣ୍ଟଜ୍ ଫୋର୍ସର ପ୍ରଭାବରେ, ଆର୍ ଆୟନଗୁଡିକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ପୃଷ୍ଠକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ୍ ପୃଷ୍ଠକୁ ଅତି ଉଚ୍ଚ ବେଗରେ ବିସ୍ଫୋରଣ କରେ, ଟାର୍ଗେଟରେ ସ୍ପଟର୍ ହୋଇଥିବା ପରମାଣୁ ଗତିର ରୂପାନ୍ତର ନୀତି ଅନୁସରଣ କରେ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଗତିଜ ଶକ୍ତି ସହିତ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଉଡ଼ିଯାଏ | ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ଜମା କରିବାକୁ |
ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପୁଟରିଂ ସାଧାରଣତ two ଦୁଇ ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ: ଟ୍ରିବ୍ୟୁଟାରୀ ସ୍ପୁଟର୍ ଏବଂ ଆରଏଫ୍ ସ୍ପୁଟରିଙ୍ଗ୍ |ଟ୍ରିବ୍ୟୁଟାରୀ ସ୍ପୁଟର୍ ଉପକରଣର ନୀତି ସରଳ, ଏବଂ ଧାତୁ ଛିଞ୍ଚିବାବେଳେ ଏହାର ହାର ମଧ୍ୟ ଦ୍ରୁତ ଅଟେ |RF sputtering ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ସ୍ପଟର୍ କରିବା ସହିତ, ଏହା ଅଣ-କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ସାମଗ୍ରୀକୁ ମଧ୍ୟ ସ୍ପଟର୍ କରିପାରେ |ଏଥି ସହିତ, ଏହା ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍, କାର୍ବାଇଡ୍ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଯ ounds ଗିକର ସାମଗ୍ରୀ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ ମଧ୍ୟ କରିଥାଏ |ଯଦି ଆରଏଫ୍ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ବୃଦ୍ଧି ହୁଏ, ଏହା ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପଟର୍ଙ୍ଗରେ ପରିଣତ ହେବ |ବର୍ତ୍ତମାନ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ସାଇକ୍ଲୋଟ୍ରନ୍ ରିଜୋନାନ୍ସ (ECR) ମାଇକ୍ରୋୱେଭ୍ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ପୁଟର୍ ସାଧାରଣତ used ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମେ -31-2022 |